型号 | JQ/KNO-90 | 加工定制 | 是 |
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外形尺寸 | W1360×H1020×D835 mm | 测量环境条件 | 环境温度为5~35℃、相对湿度≤ 85%RH、气压(86~106)kPa 试验箱内无试样 |
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温度范围 | 环境温度为5~35℃、相对湿度≤ 85%RH、气压(86~106)kPa 试验箱内无试样 | 温度波动度 | ≤±0.5℃,按GB/T5170-2008表示 |
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温度均匀度 | ≤2.0℃(RT+200℃), ≤3.0℃(201℃+300℃), ≤5.0℃(301℃+450℃) | 箱内残留氧气浓度 | 600ppm,进气压力为1.5kgf/cm2 |
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氮气高温烘箱用途:
产品广泛应用晶圆片的硬烤、软烤,LCD、CMOS、IS、医药、实验室、航天航空等众多工业领域的预热、老化、烘烤、热固化、淬火去应力等工艺。
氮气高温烘箱特点:
1.外壁材料采用双面镀锌钢板,表面喷塑处理;内壁材料:SUS不锈钢板;箱体保温材料:玻璃纤维;门保温材料:玻璃纤维。
2.室内空间设置样品架支撑调节分度架,在分度架上设置卡槽,样品架可轻放入和取出,托盘采用不绣钢材料,承重≥10KG/层,分别支持4寸晶圆25片,6寸晶圆25片。
3.烘箱后壁开设一个氮气接口,可以外接氮气,使箱内处于厌氧状态。
4.具有带电池保护的RAM,可保存设备的设定值、采样值及采样时刻的时间;曲线记录周期可设定1S~120sec,记忆时间储存连续存储720天历史曲线,历史数据(当采样时间为2min), 无连续使用时,数据可以保存长达10年以上。
5.故障报警及原因、处理提示功能;断电保护功能;上下限温度保护功能;定时功能(自动启动及自动停止运行)、自诊断。